Les mêmes outils de lithographie qui nécessitent de l'air propre ont également besoin d'un sol qui ne bouge pas sous eux. Ils modulent des caractéristiques mesurées en nanomètres, et la moindre vibration peut ruiner une plaquette. Les usines sont construites pour répondre aux courbes de critères de vibration, une norme d'ingénierie que l'Institute of Environmental Sciences and Technology a adoptée après qu'Ungar et Gordon l'ont proposée pour la première fois en 1983, selon Colin Gordon Associates. Le niveau le plus strict, appelé VC-E, limite la vibration du sol à 3,12 micromètres par seconde, ce que les propres auteurs de la norme appellent "un critère difficile à atteindre". Les fondations doivent être mécaniquement séparées du reste du bâtiment, avec des écarts physiques entre les dalles isolées et la structure environnante.